ASML meldet einen Erfolg im Geschäft mit seinen modernsten und teuersten Geräten. Der niederländische Produzent von Chipmaschinen hat seinen Schlüsselkunden TSMC für die „High-NA-EUV“-Geräte gewonnen – die neueste Variante der EUV-Maschinen, auf die ASML global ein Technikmonopol hat. Die Abkürzung steht für extrem ultraviolettes Licht. Analysten beobachten genau, wie sich die High-NA-Generation am Markt durchsetzt. Intel hatte eine erste Maschine 2024 installiert. Der Stückpreis liegt nach Unternehmensangaben „deutlich über 350 Millionen Euro“. Damit sind die Geräte etwa doppelt so teuer wie die erste Generation der EUV-Maschinen. Finanzvorstand Roger Dassen nannte vor drei Jahren im F.A.Z.-Gespräch etwas mehr als 160 Millionen Euro als ihren Preis. Die Stückzahl der technisch extrem komplizierten Geräte, die so groß sind wie ein Linienbus, ist gering. Im Juli schätzte das südniederländische Unternehmen, es werde in diesem Jahr 65 EUV-Geräte ausliefern – die High-NA-Variante nicht eingerechnet. Chiphersteller wie auch ihre Lieferanten wie ASML profitieren von dem Nachfrageschub, den Künstliche Intelligenz (KI) hervorbringt. TSMC als ASMLs größter Einzelkunde hatte bisher gezögert, High-NA-Geräte zu bestellen, weil der Konzern aus Taiwan den Produktivitätsgewinn in Relation zum höheren Preis als zweifelhaft ansah. Nun kündigte er an, im Jahr 2030 die ersten Geräte dieser Art für die Massenproduktion zu nutzen. Samsung gibt Entsprechendes für 2028 an. Alle vier Unternehmen gaben am Dienstag außerdem eine gemeinsame Initiative bekannt, in der sie gemeinsam an einem neuen Technikstandard für die Geräte arbeiten. Dabei geht es um eine Schlüsselkomponente im Fertigungsprozess, nämlich Fotomasken, welche die Vorlage für eine Chipschicht darstellen. Die Konzerne wollen vom jetzigen Sechs-Zoll-Standard auf Zwölf-Zoll-Versionen wechseln, um die Produktion zu beschleunigen und Kosten zu senken. In der Heimatregion machte ASML am Dienstag einen weiteren Schritt zur Expansion: Das Unternehmen aus Veldhoven setzte im benachbarten Eindhoven den ersten Spatenstich für einen großen Campus. Die Aktie von ASML gewann zwei Prozent an Wert auf knapp 1530 Euro.